电子级磷酸产品从依赖进口到自主国产
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企校研携手攻关芯片制造中的关键湿电子化学品
电子级磷酸产品从依赖进口到自主国产
湖北日报讯 (记者龚雪)1月13日，湖北兴发化工集团(以下简称兴发集团)宜昌新材料产业园区一间100级无尘室内，工作人员正在对超高纯电子级磷酸试剂样品，进行最后的质量检测。记者了解到，该企业与武汉工程大学、中科院等携手攻关，在解决芯片制造过程中湿化学品关键“卡脖子”难题进程中，有了重要突破，生产出的系列湿电子化学品，实现了我省磷化工产业由低端工业级、普通食品级向超高纯电子级的跨越。
“一个指甲壳大小的芯片上，可以含有数亿个电子元件。芯片制造有数百道工序，需要重复进行光刻、显影、蚀刻、薄膜等工艺。每一道工序结束后再进行下一道工序之前，都会用到大量的湿电子化学品。”兴发集团副总经理李少平介绍，该项目实施前，我国工业级、食品级磷酸过剩，但超高纯电子级磷酸、高选择性蚀刻液等芯片制作的关键材料，完全依赖日本、德国等进口，是制约我国芯片产业发展的主要“卡脖子”技术之一。
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作为全国最大的精细磷化工企业，兴发集团在2008年就成立研发团队瞄准这个难题，经过10多年不懈努力终于取得突破，该集团与武汉工程大学、中科院携手申报的《芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术》项目，荣获2019年度国家科技进步二等奖。获奖后，项目成果在兴发集团进行产业化转化，实现磷酸纯度从“3个9”到“9个9”级别提升，生产出高纯度电子磷酸试剂。“我们的产品现已占领了80%的国内市场份额，销往三星电子、台积电、中芯国际、华虹宏力等知名企业，并与日本、韩国、中国台湾等地企业竞争国际市场。”李少平说，该产品的上市也使电子级磷酸进口价格由3150美元/吨下降至1900美元/吨，降幅达39.7%。
在宜昌新材料产业园区C区一间厂房里，记者看到7、8台机器装置正在进行电子级硫酸、硝酸、添加剂等产品智能化混配。兴发集团董事长李国璋介绍，在成功掌握电子级磷酸核心技术的基础上，集团将磷酸产品向下游延伸，进而突破了电子级硫酸、氢氟酸等产品的关键技术并能实现产业化。目前园区内，已建成电子级磷酸、电子级硫酸、蚀刻液等3条生产线和若干配套厂房，系列产品销往半导体、液晶面板等制造企业。李国璋说，集团湿电子化学品产能2020年已达到8万吨，目前园区正在规划建设湿电子化学品生产线3期工程，进一步扩大产能，十四五期末力争超过30万吨，将为“芯屏端网”产业需要的几种主要湿电子化学品提供量产保障。
